壓力傳感器結(jié)構(gòu)主要采用的是壓阻式和電容式。壓阻式傳感器應(yīng)用是最為廣泛的。國內(nèi)大部分生產(chǎn)廠家依賴進(jìn)口壓阻式傳感器,來設(shè)計(jì)制造國產(chǎn)變送器,這也是一個(gè)很好的途徑,因?yàn)閴鹤枋郊夹g(shù)相對來說比較成熟,用來作為國產(chǎn)化研制比較合適。它的缺點(diǎn)是受溫度、濕度等環(huán)境因素影響比較大,靜壓特性依賴于制造的工藝水平,國內(nèi)工藝水平也需要提高?;谶@兩點(diǎn),國產(chǎn)壓阻式傳感器的精度和穩(wěn)定性比國外還是要低一些。
電容式壓力傳感器的優(yōu)點(diǎn)在于測量精度高、長期穩(wěn)定性好,但是,它對生產(chǎn)工藝和加工難度依賴性更大,有些工藝技術(shù)還被國外封鎖住,所以,要想生產(chǎn)出優(yōu)良的電容式壓力傳感器,工藝技術(shù)必須優(yōu)先解決。國內(nèi)廠家也在一步步摸索,可喜的是,現(xiàn)在有的單位已經(jīng)研制出的硅電容傳感器,精度和靜壓特性同國外相比差別不是很大,但是穩(wěn)定還是差一些。此外,國內(nèi)的電容傳感器在高差壓和微差壓規(guī)格的開發(fā)上仍有較大差距。
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